娱乐游戏属于微机械静电驱动，尤其涉及一种单侧及双侧倾斜式微机械静电驱动梳齿结构和器件。.静电驱动是微机械驱动技术的一种重要的方式，在目前的微机械器件中有广泛的应用。.目前在静电驱动结构中最常见的是梳齿结构，为了提高微机械器件的驱动能力，通常采用两种方法：一种是增大驱动电压，另一...

.本发明属于柔性传感器，具体涉及一种微结构及其制备方法与应用，尤其涉及该微结构在柔性压力传感器中的应用。.柔性压力传感器是一种能够将力学信号转变为电信号的传感器件，其具备体积小、轻薄、可弯曲、可变形、使用环境灵活等特点，其原理是吸附于基材上的应变电阻随机械变形而变化，俗称电阻应变效...

.本发明涉及生物芯片，尤其涉及一种生物芯片中硅纳米线阵列的制造方法。.生物芯片是根据生物分子间特异相互作用的原理，将生化分析过程集成于芯片表面，从而实现对dna、核糖核酸、多肽、蛋白质以及其他生物成分的高通量快速检测。.目前，现有技术公开了一种生物芯片中硅纳米线阵列通过应用低温氧化...

包括低折射率涂层和辐射改性层的器件.相关专利申请.本申请要求以下申请的优先权权益：年月日提交的美国临时专利申请us/,号、年月日提交的美国临时专利申请us/,号、年月日提交的美国临时专利申请us/,号、年月日提交的美国临时专利申请us/,号、年月日提交的美国临时专利申请us/,号、年月日...

.本发明属于微纳器件，具体涉及一种基于纳米磁编辑的开奖烯微机器人及其制备与应用。.随着微纳制备技术的不断进步，微机器人技术得到了快速发展，其在体内医疗方面的主要用途是微创手术、靶向药物治疗和疾病监测等等。对于应用于微创手术及靶向药物输送的磁驱动微机器人而言，微机器人可以通过无线方式...

.本申请属于mems器件结构加工制造，尤其涉及一种基于铌酸锂单晶薄膜的畴壁元件及其制备方法。.随着空间科学和低温超导技术的飞速发展，传统低温(k-k)测量技术难以满足当前对低温温度精确测量的需求，特别是深空、航天、国防等高科技领域需要更精确温度测量，迫切需要开发新型高灵敏度、强稳定...

具有两个独立空腔的mems装置及其制造方法.本发明涉及mems(micro-electro-mechanicalsystem，微机电系统)器件领域，尤其涉及一种具有两个独立空腔的mems装置及其制造方法。.mems电容式加速度计以其尺寸小，低成本，性能优良，广泛应用于消费...

.本发明属于芯片晶圆级封装，特别是涉及一种晶圆级腔体式封装结构及其制备方法。.在集成电路芯片生产过程中，芯片封装是十分重要的环节。由于芯片上的特征尺寸非常微小，金属触点难以直接与电路板上的导线连接，需要通过封装技术将芯片上的触点与电路板之间建立连接。此外，在实际使用时，芯片一般需要...

mems管芯和基于mems的振动传感器.相关申请的交叉引用.本申请要求年月日提交的美国临时申请no./,的优先权权益，并且其全部内容通过引用并入本文。.本公开涉及微机电系统(mems)管芯die和基于mems的振动传感器或加速度计，更特别地，涉及具有平移平面外z轴检验质量块(proofm...

.本发明涉及微电子和微系统领域。特别是，本发明涉及一种用于生产包括膜的结构的方法，所述膜具有能够在至少一个空腔上方变形的压电特性。.mems(微机电系统)器件广泛用于生产各种传感器。许多这些mems器件的工作原理是使空腔上方的柔性膜振动。例如，可以提及pmut(压电微机械超声换能器)微系统...

一种低检测限mems乙炔气体传感器及制备方法.本发明涉及mems乙炔气体传感器的制备，特别是一种au纳米粒子修饰sno多孔薄膜的低检测限mems乙炔气体传感器及制备方法。.电力变压器在整个电力系统中都发挥着巨大的作用，且随着近年来核电行业的发展，电力变压器的容量越来越大，运行时间也...

.本发明属于传感器封装，具体涉及一种在硅胶中定位置入柔性传感器的封装方法。.柔性电器件中的传感器涉及力学、电学、光学、生物、化学等多个领域，具体在可穿戴式柔性产品中也具有广泛的应用。.目前，关于将传感器封装于可穿戴式柔性产品的操作上主要包括：先把感应结构涂敷在聚酰亚胺薄膜上来开获得...

一种mems声传感芯片保护结构娱乐游戏属于传感芯片保护，具体涉及一种mems声传感芯片保护结构。.mems一般指微机电系统，微机电系统，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，而在mems的使用中，往往需要通过防护结构对传感芯片进行有...

娱乐游戏涉及红外探测器芯片制造，具体涉及读出电路芯片的信号存储模块集成的非制冷红外探测器。.mems(micro-electro-mechanicalsystem)一般指微机电系统。微机电系统，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等。在红外探测器的设计制造过程中，随着mems...

晶圆级封装的热式mems流量传感器芯片及其制作方法.本发明属于传感器，尤其涉及mems流量传感器的封装。.微机电系统(mems)技术是目前国内的研究热点，热式mems流量传感器包括敏感芯片(以下简称芯片)、芯片安装板以及固定于芯片安装板上的气流通道三部分组成。.芯片通常包括...

封装结构、mems器件以及终端设备娱乐游戏涉及芯片封装，尤其涉及一种封装结构、mems器件以及终端设备。.微机电系统(microelectromechanicalsystem，mems)是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独...

一种mems器件及其制备方法.本发明涉及半导体，尤其涉及一种mems器件及其制备方法。.微机电系统(mems,micro-electro-mechanicalsystem)，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。当前，mems器件的应用非常广泛，而mems器件中的金属引线往往...

.本发明属于表面处理，尤其涉及一种超亲/超滑区域分布的硅基表面及其制备方法。.随着淡水资源被污染而日渐短缺，从其他途径获取可供人类使用的淡水资源变的尤其重要，一直以来海水淡化技术被广泛应用于世界上的干旱地区。然而，海水淡化由于环境条件限制以及昂贵的成本让很多地区难以从中受益。为了应...

.本公开涉及电子装置领域，具体地，涉及一种用于制造具有腔体的装置的方法。.诸如薄膜体声(filmbulkacousticresonator，fbar)谐振器或滤波器、微机电系统(microelectromechanicalsystem，mems)麦克风、压力传感器、加速度传感器、压...

.本发明涉及一种用于传感器或麦克风装置的微机械构件。本发明还涉及一种用于传感器或麦克风装置的微机械构件的制造方法。.在dea中，公开了一种声换能器结构，其构造有膜片和对电极(gegenelektrode)，使得膜片和对电极之间的距离可以通过膜片上的声波撞击来改变。在对电极处构造有止挡结构，...