娱乐游戏涉及传感器，尤其涉及一种传感器。.传感器已成为手机、手环等智能硬件的标配。为了缩小客户端装配空间，传感器的小尺寸形态逐渐成为传感器的封装趋势。为了实现传感器的小尺寸形态，越来越多的解决方案是将传感器的芯片嵌入到传感器的基板内。.为了提升传感器的抗干扰性能比如射频干扰、电...

.本公开涉及以mems换能器的输出为信号源的半导体集成电路装置以及使用该半导体集成电路装置的麦克风模块。.以往，如图所示，车载用麦克风(麦克风单元)一般包括：由mems换能器和放大器构成的mems换能器麦克风模块；向mems换能器麦克风模块供给偏置电压的调节器；线式线路驱动器；以及用于调整...

一种保护mems芯片不受散点污染的盖板娱乐游戏涉及mems芯片涂胶防护，具体是一种保护mems芯片不受散点污染的盖板。.微机电系统即mems，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起...

固态纳米孔形成.相关申请.本申请根据u.s.c.§(e)要求于年月日提交的题为“固态纳米孔形成(solidstatenanoporeformation)”的美国临时申请序列号/,的提交日期的权益，所述美国临时申请的全部内容通过引用并入本文。.本发明涉及一种用于在衬底中产生开孔的方法，...

.本发明涉及驱动器，具体为一种利用量子限域超流体效应的多重响应驱动器的制备方法及应用。.驱动器是微机械系统、智能机器人等智能器件的核心部件。在各种驱动器结构中，双层结构型驱动器应用最为广泛，其基本原理是将智能材料与惰性材料相结合，形成活性层/惰性层双层结构。当施以外界刺激（湿度、光...

mems封装光学相控阵芯片.本发明涉及一种mems封装光学相控阵芯片，属于三维扫描成像。.激光雷达作为人类视觉感知环境信息的重要方式，经过长期发展，技术已相对成熟并被广泛应用。常见的固态激光雷达技术有：微机电系统(mems)、面阵闪光(flash)技术和光学相控阵(opa)...

一种高灵敏度mems压差传感器件及其制备方法.本发明涉及微电子器件和压力传感领域，具体涉及一种高灵敏度mems压差传感器件及其制备方法。.微机械系统(micromechanicalsystem,mems)是一种使用半导体材料制造的技术，在一般的硅衬底上集成了机械组件、传感器、执行...

微米，步骤中mxene/银纳米线分散液中mxene与银纳米线的质量比为:、:、:中的一种，制备过程采用将mxene/银纳米线分散液均匀分散、真空过滤在工具膜上，获得具有三维导电网络结构mxene/银纳米线复合薄膜。.本发明通过控制mxene/银纳米线复合薄膜的制备条件，即通过对mxene用量、银纳...

一种应用于mems力敏感传感器的封装级应力隔离结构.本发明属于力敏感器件，特别是mems系统中微惯性传感器，尤其涉及一种应用于mems力敏感器件的封装级应力隔离结构。.微电子机械系统(micro-electro-mechanicalsystem，mems)，是由机械...

一种耐高温高压的mems压力传感器压敏芯片及其制备方法.本发明涉及mems，具体涉及一种耐高温高压的mems压力传感器压敏芯片及其制备方法。.在航空航天、石油化工、冶金制造和大型船舶等应用领域，利用单晶硅的压阻效应原理的微机电mems压阻式压力传感器因为灵敏度高、工艺成熟、...

mems封装结构娱乐游戏涉及封装，尤其涉及mems封装结构。.mems(micro-electro-mechanicalsystem)即微机电系统，是指集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件...

.本公开的实施例涉及电子封装，更具体而言涉及具有玻璃芯的电子封装，所述玻璃芯具有利用向上电镀工艺形成的高深宽比的过孔。.随着计算技术变得更加普及，对低成本的遍布式感测的需求正在增长。具体而言，化学、温度、压力和加速度感测是非常令人感兴趣的领域。例如，当前的化学传感器常常非常笨重，并且总是必...

.本公开的实施例涉及电子封装，并且更具体地，涉及具有包括悬置结构以形成集成传感器的玻璃核心的电子封装。.随着计算技术变得更加普遍，存在对于低成本、普及的感测的不断增长的需求。尤其是，化学、温度、压力和加速度感测是使人有浓厚兴趣的领域。例如，当前的化学传感器常常是庞大的，并且是始终必须附接到...

.本发明涉及半导体，尤其是涉及一种用于微电子器件的真空腔内部的气压监测结构。.在微电子技术的基础上发展而来的微机电系统(microelectromechanicalsystems；mems)技术是一个新兴的多学科交叉的高科技领域。出于保护内部的mems器件的目的，一般要求me...

介质桥结构及其制作方法、mems器件.本发明是关于半导体，特别是关于一种介质桥结构及其制作方法、mems器件。.介质桥梁支撑结构在mems器件中有广泛应用，用于支撑金属结构跨接，或者特殊高频微波器件中空气隔离需要做支撑，或者三维构筑微机械器件支撑梁。.介质桥使用有机聚合物材...

一种集成加速度传感器和磁传感器的封装结构娱乐游戏涉及集成式传感器，尤其涉一种集成加速度传感器和磁传感器的封装结构。.步入世纪，人类全面进入信息时代，开启了万物互联的新征程，从一定意义上讲，也就进入了传感器时代。近些年来，伴随着智能手机市场的迅猛发展，作为手机应用...

.本发明涉及半导体，尤其是涉及一种用于微电子器件的真空腔内部的气压监测结构。.在微电子技术的基础上发展而来的微机电系统(microelectromechanicalsystems；mems)技术是一个新兴的多学科交叉的高科技领域。出于保护内部的mems器件的目的，一般要求me...

.本发明涉及半导体，尤其是涉及一种用于微电子器件的真空腔内部气压监测结构的制作方法。.在微电子技术的基础上发展而来的微机电系统(microelectromechanicalsystems；mems)技术是一个新兴的多学科交叉的高科技领域。出于保护内部的mems器件的目的，一般...

一种介孔二氧化硅-铂janus纳米马达的制备方法.本发明属于功能纳米材料，具体涉及一种介孔二氧化硅-铂janus纳米马达的制备方法。.双面神(janus)纳米粒子作为一种具有非对称结构的纳米材料，可在单个粒子中整合两种或两种以上的化学成分，表现出不同的物理和化学性质。目前，...

.本发明涉及衬底上的可释放并且转移到系统衬底的微装置的开发。发明内容.本发明涉及一种用以集成锚以用于将微装置固定到衬底的方法，所述方法包括：在第一衬底上形成至少一个微装置；在远离第一衬底的顶侧上的微装置上具有衬垫；通过钝化层覆盖微装置；以及利用保护层覆盖微装置。.在另一相关实施方案中，本发明涉及一...